Catalogo delle attrezzature

Lo strumento FEI Helios Nanolab 600 combina un microscopio elettronico a scansione (SEM) con un fascio ionico focalizzato (FIB).
Consente la caratterizzazione dei materiali in 2D e 3D (tomografia), la preparazione dei campioni TEM (lamelle), l’osservazione della sottosuperficie dei campioni (immagini in sezione) e la modifica strutturale delle superfici su scala micrometrica e nanometrica. 
Questa tecnica viene utilizzata nell'industria dei semiconduttori, nella scienza dei materiali e, sempre più spesso, in campo biologico per l'analisi, la deposizione e l'ablazione di materiali.

Per le sue potenzialità, è oggi uno strumento indispensabile nelle moderne strutture di caratterizzazione, seppur non comune in quanto richiede competenze specifiche nell’uso e nell’interpretazione dei risultati.

Lo strumento è dotato di una colonna SEM con sorgente elettronica Field Emission Gun (FEG) ad altissima risoluzione, combinata con una colonna FIB e gas chimici. È possibile ottenere immagini con una risoluzione migliore di 1 nm a 15 kV e 2,5 nm a 1 kV di energia del fascio. Il fascio di ioni di gallio consente di acquisire immagini e rimuovere materiale fino a livelli di risoluzione di 5 nm.

Il FIB è inoltre dotato di sistemi di iniezione di gas Pt, C e W (GIS) per la deposizione di strati protettivi e di un micromanipolatore Omniprobe che consente di prelevare la lamella e di trasferirla sulla griglia TEM sempre all'interno della camera.

La piattaforma DualBeam consente applicazioni di caratterizzazione tridimensionale, analisi e ricostruzione di immagini, funzionalità di nanoprototipazione (fabbricazione e test) e preparazione rapida e precisa dei campioni TEM (microscopio elettronico a trasmissione)

Materiali

• Metalli

• Polimeri

• Ceramica

• Compositi

• Rivestimenti

• Multistrato

• Campioni conduttivi e non conduttivi

Applicazioni

• imaging ad alta risoluzione su scala nanometrica

• analisi elementare e caratterizzazione dei materiali su scala da micron a submicron

• preparazione di campioni e materiali ultrasottili per altre analisi, ad esempio preparazione di regioni selezionate per la microscopia elettronica a trasmissione (TEM) e la tomografia a sonda atomica (APT)