Il sistema e' composto da un Fascio Ionico Focalizzato (FIB) e da un Microscopio Elettronico a scansione (SEM) combinati e confocali. I sistema permette di realizzare, singolaremente ed anche in combinazione:
Microscopia elettronica SEM e analisi EDX
Microscopia con fascio ionico
Erosione controllata con fascio ionico (FIB) e nalisi in cross section
Nanofabbricazione tramite crescita localizzata tramite fascio ionico o elettronico
L'accesso al sistema FIB /SEM, anche all’interno di un contratto di fornitura di servizio a tariffario, e’ competenza del personale CNR NANO S3 e non e’ previsto il coinvolgimento diretto del committente (modalita’ self- service).
L'utilizzo del sistema FIB/SEM e' aperto agli esterni in due modalita' :
a) tramite contratti o commesse di ricerca
b) come servizio a tariffario