Sistema di litografia elettronica (EBL) e microscopia elettronica a scansione (SEM).
Sistema di litografia a fascio elettronico e microscopio elettronico a scansione.
Marca e modello
Colonna elettronica "Zeiss Sigma" e pattern generator "Raith ELPHY Quantum".
Quantità
1
Laboratorio
Unità operativa
Laboratorio di nanofabbricazione e microscopia elettronica
Modalità di accesso
L'accesso al sistema FIB /SEM, anche all’interno di un contratto di fornitura di servizio a tariffario, e’ competenza del personale CNR NANO S3 e non e’ previsto il coinvolgimento diretto del committente (modalita’ self- service).
Condizioni di utilizzo
L'utilizzo del sistema FIB/SEM e' aperto agli esterni in due modalita' :
a) tramite contratti o commesse di ricerca
b) come servizio a tariffario
Referenti
Gian Carlo Gazzadi
Sede attrezzatura
CNR-NANO S3, Via Campi 213/a Modena(MO) Tel: +39 0592055323
Ultimo aggiornamento
04/04/2022