Camera bianca per processi tecnologici

La clean room o “camera pulita” è un’area caratterizzata da una atmosfera ad elevatissimo grado di purezza (es. classe 100: per ogni metro cubo vi sono meno di 100 particelle di polvere con diametro superiore a 0.5 micron). La clean room a cui il personale di Proambiente ha accesso è un’area di 250 m2 in cui sono presenti una serie di macchinari (forni, evaporatori, deposizione isolanti e metalli, fotolitografia) che permettono la micro-lavorazione dii fette di silicio da 4” tramite cui si ottengono microdispositivi e microsistemi per varie applicazioni (sensoristica chimica e fisica, microfluidica, ottica, meccanica,….)

Quantità
1
Laboratorio
Unità operativa
IMM CNR
Modalità di accesso

Da parte di personale del laboratorio incaricato dell’impiego dell’attrezzatura senza la partecipazione diretta dell’utente.

Condizioni di utilizzo

1) Uso a titolo gratuito sulla base di accordi di collaborazione di ricerca.

2) Fatturazione in base a contratto forfettario.

Referenti
Enrico Cozzani
Francesco Suriano
Sede attrezzatura
Area della Ricerca CNR Bologna, Via Piero Gobetti 101 Bologna(BO) Tel: +390516399981
Ultimo aggiornamento
28/02/2023