Microscopio Elettronico a Scansione e Focused Ion beam
- SEM: colonna Gemini con sorgente a emissione di campo tipo Schottky.
- FIB: colonna Canion con sorgente a ioni di Gallio.
- Rivelatori: InLens ed Everhart-Thornley per e- secondari, BSD per e- backscatterati, Oxford EDX (risoluzione 138 eV) per analisi composizionale.
- Sistema a singolo iniettore di gas e reservoir con precursore di Pt.
- Micromanipolatore Kleindiek in camera.
Marca e modello
FESEM/FIB ZEISS Auriga Compact
Quantità
1
Laboratorio
Unità operativa
aratterizzazion8i Strutturali e di Superficie, referente Dott.ssa Giovanna Trevisi (giovanna.trevisi@imem.cnr.it)
Modalità di accesso
Accesso da parte del personale di laboratorio con eventuale partecipazione e/o presenza dell’utente esterno
Condizioni di utilizzo
Su preventivo da concordare
Referenti
Giancarlo Salviati
Sede attrezzatura
IMEM-CNR, Parco Area delle SCienze 37/A Parma(PR) Tel: 0521-269236
Ultimo aggiornamento
11/07/2023