Il sistema comprende:
a) TEM 2000FX
Marca: JEOL
Tensione di accelerazione 80, 120, 200 KV
Risoluzione: 0.3 nm
b) Apparato di deposizione di film sottili con la tecnica PED (Pulsed Electron Deposition)
Dotato di 3 camere da vuoto, collegate ma sezionabili, per la deposizione di substrati flessibili (nastri) (sistema “reel to reel”) in condizioni di temperatura, pressione diverse tra loro e impiegando diversi gas.
L’apparato, progettato da IMEM e realizzato dalla ditta Rial Vacuum,
permette di depositare film sottili sia su substrati rigidi che flessibili ed è particolarmente adatto a:
- deposizioni di nastri superconduttori di 2° generazione a base di YBCO
- deposizione di film di SiC
- deposizione di celle solari di 2° generazione (Thin Film Solar Cells) a base di CIGS (CuInGaSe2).
c) SEM-FEG 6400F
Marca: Jeol
Da parte del personale del laboratorio incaricato dell'impiego dell'attrezzatura senza la partecipazione diretta dell'utente
Uso a titolo gratuito sulla base di accordi di collaborazione di ricerca.
Fatturazione in base a contratto forfettario