Clean Room per sensori e microsistemi

MISTER ha accesso alla Clean Room per Sensori e Microsistemi dell’IMM di Bologna.

L’Istituto IMM di Bologna ha la più grande facility pubblica in Italia per la micro e nano fabbricazione di dispositivi in silicio e altri materiali; essa consiste in 500 m2 di Clean roon di cui 250 m2 di classe 100 e 250 m2 di classe 1000 e 100000.

Nella camera Bianca sono disponibili tutte le principali tecnologie necessarie per la fabbricazione di MEMS (Micro-Electro- Mechanical-System), NEMS(Nano-Electro-Mechanical-System) e MOEMS (Micro-Optical- Electro-Mechanical-System).

La clean room dispone di:

  • Attrezzature per il coating di substrati fino a 4″ con fotoresist ed altri prodotti depositabili per spinning.
  • Sistemi di nano litografia FIB/EBL Zeiss/Raith modello CROSSBEAM 340
  • Plasma in ossigeno a microonde per la pulizia di campioni da residui organici quali fotoresist.
  • Sistemi litografici a contatto per il trasferimento di pattern micrometrici su substrati da 4″
  • Sistemi di attacco RIE C-MOS compatibile per dielettrici e silicio, RIE compatibile con metalli e silicio e D-RIE per Silicio e Ossido di silicio
  • Microscopio ottico Nikon e relativo software per la cattura e manipolazione delle immagini.
  • Sistema di Wafer Bonding
  • Sistemi di sputtering ad alto vuoto per la deposizione di film sottili metallici e non
  • Evaporatore a fascio elettronico che permette la deposizione di film sottili anche su più substrati contemporaneamente grazie alla presenza di un sistema di clamping a planetario.
  • Forni per il trattamento ad alta temperatura
  • Sistemi di deposizione LPCVD di silicio policristallino, Si3N4, LTO e TEOS

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Quantity
1
Laboratory
Access mode

Uso a titolo gratuito sulla base di accordi di collaborazione di ricerca.

Fatturazione in base a contratto forfettario.

Terms of use

Da parte del personale del laboratorio incaricato dell'impiego dell'attrezzatura 

senza la partecipazione diretta dell'utente

Referents
Fulvio Mancarella
Equipment location
Area della Ricerca CNR, Via Gobetti 101 Bologna(BO) Tel: 0516399120
Last update
24/02/2023