Spettroscopia Auger
Maximum electron beam energy 5 keV
Maximum current 20 µA
Spot size fino a 5 µm
Scanning Electron Microscopy (SEM) mode
(rilevazione fotoni secondari emessi nel processo Auger) risoluzione ~3 µm
Brand and model
Analizzatore VSW HA100 con control unit PSP LEG62 ThermoVG electron gun
Quantity
1
Laboratory
Operational unit
Caratterizzazioni Strutturali e di Supeficie, referente Dott.ssa Lucrezia Aversa (lucrezia.aversa@cnr.it)
Access mode
- Accesso da parte del personale di laboratorio con eventuale partecipazione e/o presenza dell’utente esterno
Terms of use
- Su preventivo da concordare
Referents
Salvatore Iannotta
Equipment location
IMEM-CNR, Parco Aree delle Scienze 37/A Parma(PR)
IMEM-Trento, c/o FBK, Via alla Cascata 56/C, 38123 Povo - Trento Trento() Tel: 0461-314823
Last update
11/07/2023